根据不锈钢的材质和氧化皮严重程度不同，可以用原液或按1：1~4的比例加水稀释后使用；铁素体、马氏体和镍含量低的奥氏体不锈钢（如420、430、200、201、202、300、301等）稀释后使用，镍含量较高的奥氏体不锈钢（如304、321、316、316L等）用原液浸泡；一般常温或加热到50~60度后使用，浸泡3-20分钟或更长时间（具体时间和温度用户根据自己的试用情况确定），至表面污垢完全清除，成均匀银白色，形成均匀致密的钝化膜为止，处理完成后取出，用清水冲洗干净，再用碱水或石灰水冲洗中和。
高（超）纯气体管线长度应尽量短，根据气体耗量确定管径，不宜设预留 口，不应出现“盲管”等不易吹除的部位；在气体终端纯化装置的进、出口处， 关键工艺设备的入口处以及必须进行取样的管段上应设置取样口。
气体管道穿过洁净室的墙壁、楼板时，在墙壁（或楼板）的孔洞内管道不 应有焊缝，在孔洞的两侧应用不锈钢板封盖，不锈钢板与墙壁（或楼板）之间 应加设橡胶垫，不锈钢板用螺钉固定在墙壁（或楼板）之间，均应涂以硅胶密 封剂进行密封。
气体动力管道主材和阀门的选用 管道材料应根据气体纯度的不同要求进行选择，高（超）纯气体管道材料应具 有化学稳定性好，吸附性差，渗透性小等特性。输送无毒无味气体管如净化干燥的压缩空气管、真空管等一般选用热轧镀 锌钢管。
高（超）纯气体管道选用阀门应选用密封性良好的针型阀、球阀、隔膜阀、 真空阀及角阀等；并注意介质的压力要求，对气体使用阀门时压力应 提高 1-2 个等级。在洁净室内禁用铜和铜合金的阀门。取样阀应选用不锈钢波 纹管密封阀。选用阀门材料阀体、阀杆为 0Cr18Ni9；波纹管为 1Cr18Ni11Nb； 阀座、填料为聚四氟乙烯；密封垫可用不锈钢有色金属或聚四氟乙烯。
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